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EUV
Extreme ultraviolet lithography
fraisrevu il y a 0 j
Définition courte
Lithographie à ultraviolets extrêmes, utilisée pour imprimer les couches les plus complexes des puces avancées avec une lumière de 13,5 nm. Goulet industriel majeur car elle combine optique, vide, métrologie, logiciels et chaîne de fournisseurs spécialisée.