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Support électrostatique de plaquette
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Définition courte
Support qui maintient une plaquette pendant certaines opérations de fabrication par une force électrostatique. Un gaz de refroidissement arrière peut faciliter l’échange thermique entre la plaquette et ce support. La pression du gaz, la courbure de la plaquette et l’uniformité du maintien influencent le fonctionnement de cette interface.
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Sources primaires
- Parizi et al., Qorvo / CS MANTECH, mai 2022Page imprimée 265 : maintien électrostatique, gaz arrière et courbure de plaquette.